本文全面解析了DUV曝光尺寸,從基礎(chǔ)概念到實際應(yīng)用進(jìn)行了詳細(xì)闡述。首先介紹了DUV曝光的基本原理和關(guān)鍵參數(shù),包括曝光時間、光源強度等。文章深入探討了DUV曝光尺寸的影響因素,包括光刻膠類型、基板溫度等。文章通過實例展示了DU...
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