曝光機導軌是半導體制造中不可或缺的精密部件,其作用是在曝光過程中引導和固定曝光機,確保芯片制造的精確性和一致性。雖然導軌在生產(chǎn)過程中往往被視為“隱形”,但其重要性不容忽視。高精度的導軌能夠保證曝光機在微米級別的精確移動,從而...
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