在半導(dǎo)體制造中,曝光機(jī)光譜是關(guān)鍵技術(shù)之一,它通過精確控制光線的波長和強(qiáng)度,將電路圖案“繪制”在硅片上。這一過程就像是在進(jìn)行一場光之舞曲,要求極高的精度和穩(wěn)定性。曝光機(jī)光譜的原理基于光學(xué)原理和光刻技術(shù),通過使用特定的光源和透鏡...
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