曝光機濾芯是半導(dǎo)體制造中光刻工藝的關(guān)鍵組成部分，其作用是過濾掉有害的顆粒和氣體，保護曝光機免受污染，確保光刻過程的穩(wěn)定性和準確性。在光刻過程中，微小的顆粒和氣體污染可能導(dǎo)致芯片缺陷，影響產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。曝光機濾芯的過濾效率...