電阻曝光工藝是微電子制造領(lǐng)域中的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，它被形象地稱為“隱形藝術(shù)家”。在微電子制造的復(fù)雜過程中，電阻曝光工藝扮演著至關(guān)重要的角色。它通過在光刻膠上形成電阻圖案，將設(shè)計(jì)好的電路圖形精確地轉(zhuǎn)移到硅片上。這一過程需要極高的精...