光刻技術是半導體制造中的關鍵技術之一,而LDI(激光直接成像)曝光機與傳統(tǒng)曝光機在性能、精度和效率方面存在顯著差異。LDI曝光機采用激光直接照射技術,無需掩模版,具有高精度、高效率和低成本的優(yōu)點。相比之下,傳統(tǒng)曝光機使用掩模...
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