在半導(dǎo)體制造中，檢修曝光機(jī)是確保生產(chǎn)質(zhì)量和設(shè)備安全的重要環(huán)節(jié)。檢修人員需對曝光機(jī)進(jìn)行全面檢查，包括光源、鏡頭、工作臺(tái)、真空系統(tǒng)等關(guān)鍵部件，確保其正常運(yùn)作。還需對曝光機(jī)的控制系統(tǒng)、軟件和電路進(jìn)行細(xì)致檢查，以排除潛在故障。定期維...