在微電子制造領(lǐng)域，曝光機(jī)氣體扮演著至關(guān)重要的角色，它作為光刻過程中的關(guān)鍵介質(zhì)，直接影響著芯片的制造精度和性能，曝光機(jī)氣體主要包括氮?dú)?、氬氣等，它們在光刻過程中起到保護(hù)和穩(wěn)定芯片的作用，防止光刻膠在曝光過程中受到污染或損傷。，...